VUV検出における長期信頼性

 特定の種類の光検出器、例えばMPPC (Multi-Pixel Photon Counter)のようなデバイスは、単一光子を検出できるほど高い感度を備えています。これは、単一光子吸収事象の検出が求められるHigh-Energy Physics実験において、非常に有用です。

 

一般に、シリコンデバイスはUV/VUV領域の放射を検出する際、その特性が劣化することが知られています。科学実験ではこの状況がしばしば見られ、劣化の程度はUV/VUVの照射強度、使用時間、周囲温度などの要因によって左右されます。特に、長期間の使用によりUV感度の低下やダーク電流の増加が生じる場合があります。

 

樹脂は、シリコンによるUV/VUV光子吸収を抑制する能力に限界があるため、半導体表面は依然として露出した状態となります。このため、デバイスはUV光による損傷を受けやすくなり、VUV検出に使用される MPPCの長期信頼性を確保する際には、これらの要因を考慮することが重要です。

 

浜松ホトニクスでは、樹脂を使用せずにVUV検出向けデバイスを実現するための技術開発を継続的に進めています。この技術により、長期的にUV光に対して高い耐性を持つチップの製造が可能になります。

 

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